创新成果推介

1、银铜钛活性钎料

 采用先进真空气雾化制粉工艺和熔炼技术，精确控制Ti含量，氧含量小于200ppm，粉末粒度可控，钎焊性能优异，产品和技术可达到国内先进水平。

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2、刻蚀工艺腔用高纯致密氧化钇涂层

采用先进粉末制备工艺和先进涂层技术研制适用于刻蚀机工艺腔内表面用防腐涂层，可以提高和改善刻蚀机工艺腔内表面耐大功率等离子体的侵蚀性能，延长使用寿命。该产品已实现高纯Y2O3粉末的进口替代和低成本；刻蚀机工艺腔内表面用耐腐蚀涂层性能优异，满足高性能刻蚀机使用要求。项目产品和技术可达到国内先进水平。

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SEM图像                       （a）粉体                                                                                               （b）涂层

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